Impact of different m-HiPIMS parameters on deposition rate and flux ionization

• Autoři: ONDRYÁŠ Martin; HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; SOUČEK Pavel; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2024
• Druh: Konferenční abstrakty

Přiložené soubory

• abstrakt-SPPT-v2.docx