Impact of the pulse length in HiPIMS on the deposition rate, ion metal flux fraction and argon ion flux

• Autoři: ONDRYÁŠ Martin; HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2025
• Druh: Konferenční abstrakty

Přiložené soubory

• Abstract-Ondryas.docx