Informace o publikaci
Optical Diagnostic of RF Plasma: Spectrometer Calibration and Actinometry
| Název česky | Optická diagnostika vysokofrekvenčního plazmatu:Kalibrace spektrometru a aktinometrie. |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2001 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | WDS`01 Proceeding of contributed papers, part 2 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | rf plasma; actinometry; spetrometer calibration |
| Popis | Pro kvantitativní určení koncetrací jednotlivých komponent vysokofrekvenčního plazmatu pomocí aktinometrické metody je provedena kalibrace intenzit jednotlivých spektrálních čar pomocí normálu záření. |