Diamond Growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition

• Autoři: FRGALA Zdeněk; KUDRLE Vít; JANČA Jan; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; BURŠÍK Jiří; KADLEČÍKOVÁ M.; KLAPETEK Petr
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of contributed papers WDS'03
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; diamond; WC; raman spectra; SEM
• Popis: Diamond Growth on silicon and WC=Co by microwave plasma chemical vapor deposition

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek