Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

• Autoři: BIBINOV Nikita; KUDRLE Vít; ZAJÍČKOVÁ Lenka; DONKO Zoltan; WIESEMANN Klaus
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ISPC 14
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; negative ions; acethylene
• Popis: Film deposition in Paralle Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek