Preionised pulsed magnetron discharge for ionised physical vapour deposition

• Název česky: Preionizovaný pulzní magnetron pro fyzikální depozici z iontů
• Autoři: GANCIU Mihai; KONSTANTINIDIS Stephanos; PAINT Y; DAUCHOT Jean Pierre; HECQ M; POUCQUES Ludovic; VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Chrispophe; BRETAGNE Jean; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2004
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova: pulsed magnetron discharge preionization deposition
• Popis: K zlepšení kvality deponovaných vrstev magnetronovým výbojem, zejména zvýšením ionizačního stupně rozprášených částic, byla vyvinuta nová metoda založená na preionizaci magnetronového výboje. Této preionizace bylo dosáhnuto superpozicí MW, RF a DC výboje a rychlým anomálním pulzním výbojem. Proudová hustota dosáhla vysokých hodnot v průběhu velmi krátkých pulzů.