Informace o publikaci
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
Název česky | Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Surface and Coating Technology |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | IPVD; sputtering; magnetron discharge; microwave discharge; RF discharge; absorption spectroscopy |
Popis | Srovnání dvou zdrojů ionisace pri magnetronovém naprašováni, dodatečného mikrovlnného a RF výboje. |
Související projekty: |