Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

• Název česky: Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu
• Autoři: ZŮDA Jaroslav; BURŠÍKOVÁ Vilma; ČECH Jan; SŤAHEL Pavel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: JUNIORMAT'05
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition
• Popis: V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.

Související projekty

• Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku
• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů