Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; DVOŘÁK Pavel; ZAJÍČKOVÁ Lenka; FRANTA Daniel; JANČA Jan; BURŠÍK Jiří; BLÁHOVÁ O.; PEŘINA V.; KLAPETEK P.
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Application of Nanocrystalline Diamond and Diamond Like Carbon Materials
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; DLC; mechanical properties; adhesion; thermal stability
• Popis: Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů