Deposition of protective couatings in RF organosilicon discharges

• Název česky: Depozice ochranných povrchů ve vf. organosilikonových výbojích
• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; FRANTA Daniel; KUČEROVÁ Zuzana; BOUSQUET Angelique; GOULLET Antoine; GRANIER Agnes
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: In Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, 18th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: deposition-organosilicon-discharge
• Popis: cílem této publikace bylo studovat depozici ochranných vrstev ve vf. organosilikonových výbojích

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou