Informace o publikaci
IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SIGE MULTILAYERS AND CASCADE STRUCTURES
| Název česky | In-situ studie Si a Ge interdifuse v SiGe multivrstvách a kaskádových strukturách |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | XTOP 2006 - 8th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | interdiffusion; x-ray diffraction; thin films |
| Popis | Provedli jsme in-situ měření rtg reflektivity a difrakce v oblasti teplot 700 C. Profil obsahu Ge v SiGe multivrstvách byl použit pro simulacespekter rtg reflexe a difrakce. |
| Související projekty: |