Spatially resolved optical diagnostics of neon RF discharge

• Název česky: Prostorově rozlišená optická diagnostika RF výboje v neonu
• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; MATÚŠKA Ján; TRUNEC David; MATEJČÍK Štefan; ŠMÍD Radek; LAZAR Lukáš
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Book of Abstracts of 16th Symposium on Application of Plasma Processes
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
• Popis: Kapacitně vázaný RF výboj v neonu (13.56 MHz) byl studován prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopií a srážkově-radiačním modelem. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Z měřených intenzit výrazných spektrálních čar neonu a srážkově-radiačního modelu byla stanovena teplota elektronů ve výboji.

Související projekty

• Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
• Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu