Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

• Název česky: Synchrotronová výpočetní laminografie pro 3D zobrazení plochých objektů s velkým rozlišením
• Autoři: HELFEN L.; MYAGOTIN A.; RACK A.; PERNOT P.; MIKULÍK Petr; DIMICHIEL M.; BAUMBACH T.
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Physica stat.sol.(a)
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#HelfenMyagotinRack-pss-2007
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: imaging; laminography; tomography; synchrotron radiation
• Popis: Synchrotronová výpočetní laminografie (SRCL) byla vyvinuta jako metoda pro 3D zobrazování s vysokým rozlišením pro oblasti v laterálně velkých objektech, například elektronických mikrosystémech. Ve srovnání s počítačovou tomografií (CT) využívá SRCL nakloněné osy rotace vzhledem k dopadajícímu záření. Potenciál metody je demonstrován na příkladech studia kontaktovaných elektronických čipů.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur