Informace o publikaci
Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge
| Název česky | Depozice a analýza tenkých vrstev vytořených v atmosférickém doutnavém výboji |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | atmospheric pressure glow discharge thin films |
| Popis | Tenké polymerní organosilikonové vrstvy byly deponovány v atmosférickém doutnavém výboji. Výboj byl zapálen v dusíku s malou příměsí hexamethyldisiloxanu. Teplota substrátu byla zvýšena až na 120 stupňů celsia za účelem zvýšení tvrdosti vrstev. Mezi doutnavým a filamentním výbojem bylo rozlišováno pomocí měření elektrických veličin. Mechanické vlastnosti vrstev byly určeny mikrotvrdoměrem. Vrstvy byly polymerního charakteru, průhledné v optickém spektru s uniformní tloušťkou a nízkou drsností. |
| Související projekty: |