Informace o publikaci
Development of oxide precipitates in silicon: calculation of the distribution function of the classical theory of nucleation by a nodal-points approximation
| Název česky | Vývoj oxidových precipitátů v křemíku: výpočet distribuce klasickou teorií nukleace metodou uzlových bodů |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | J. Phys. Condens. Matter |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.iop.org/EJ/abstract/0953-8984/19/49/496202/ |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | silicon; theory of nucleation; cluster distribution; oxygen precipitation; annealing |
| Popis | Klasická teorie nukleace v pevných látkách je matematicky vyjádřena soustavou diferenciálních rovnic pro časový vývoj distribuce velikosti a koncentrace klastrů. Náročnost numerické simulace úplného systému rovnic roste úměrně počtu rovnic, což činí numerické řešení extrémně časově náročné. V tomto článku jsme vyvinuli aproximaci uzlových bodů s logaritmickým růstem náročnosti řešení, která umožňuje velmi rychlé výpočty distribuce klastrů. |
| Související projekty: |