Informace o publikaci

Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers

Název česky Plazmochemická depozice vrstev z hexametyldisiloxanu a oktametyltetrasiloxanu
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka KUČEROVÁ Zuzana FRANTA Daniel BURŠÍKOVÁ Vilma BURŠÍK Jiří SŤAHEL Pavel KLAPETEK Petr

Druh Článek ve sborníku
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta Rektorát

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; HMDSO; OMCTS
Popis Siloxanové polymery
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info