Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers

Základní údaje

Originální název Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers
Název česky Plazmochemická depozice vrstev z hexametyldisiloxanu a oktametyltetrasiloxanu
Autoři

Další údaje

Citace ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Zuzana KUČEROVÁ, Daniel FRANTA, Vilma BURŠÍKOVÁ, Jiří BURŠÍK, Pavel SŤAHEL a Petr KLAPETEK. Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers. In 18th International Symposium on Plasma Chemistry. Kyoto: International Plasma Chemistry Society, 2007. s. 459.
Originální jazyk angličtina
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Druh Článek ve sborníku
Klíčová slova PECVD; HMDSO; OMCTS

Anotace

Siloxanové polymery

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info