Informace o publikaci

Structure and properties of DLC/SiOx films deposited in CW and pulsed plasma

Název česky Struktura a vlastnosti DLC/SiOx vrstev připravených v CW a pulzním plazmatu
Autoři

GRANIER A. BEGOU T. DUQUENNE C. DJOUADI M.A. FENG X. BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-Papers CD
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova DLC;PECVD;HMDSO;mechanical properties
Popis Struktura a vlastnosti DLC/SiOx vrstev připravených v CW a pulzním plazmatu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info