Informace o publikaci

Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Název česky Studium mechanických vlastností NCD vrstev
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma BURŠÍK Jiří KARÁSKOVÁ Monika JAŠEK Ondřej ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel KLAPETEK Petr BLÁHOVÁ Olga

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Mechanical Properties; NCD Coatings;
Popis Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info