Informace o publikaci

Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges

Název česky Návrh a výroba vysokoteplotních SOI napěťových senzorů
Autoři

KULHA P. BOURA A. HUSÁK M. MIKULÍK Petr KUČERA Milan VALENDA Stanislav

Rok publikování 2008
Druh Článek ve sborníku
Konference 7th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova High-Temperature SOI Strain-Gauges; sensors
Popis Článek je věnován piezorezistivním senzorů. Jejich návrh byl provedený softwarem CoventorWare, který umožnil mehcanickou a elektrickou charakterizaci struktury. Podle návrhu byly vyrobeny jednoduché pasivní elementy na SIMOX SOI s naprášenou AlCuSi metalizací a provedena jejich charakterizace.
Související projekty: