Informace o publikaci

Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions

Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr SOUČEK Pavel

Rok publikování 2010
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. No hysteresis effect was observed and modelled.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info