Deposition and analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

• Autoři: SOUČEK Pavel; VAŠINA Petr; ELIÁŠ Marek; BURŠÍKOVÁ Vilma; SCHMIDTOVÁ Tereza; JÍLEK Mojmír; JÍLEK Mojmír jr.; SCHÄFER Jan; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2010
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Deposition and analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering. Analysis of mechanical properties, chemical composition and adhesion.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace