Informace o publikaci

Oxygen Precipitation in CZ Si Wafers after High Temperature Pre-annealing

Název česky Precipitace kyslíku v CZ Si deskách po vysokoteplotním předžíhání
Autoři

MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan SVOBODA Milan BURŠÍK Jiří

Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis V této práci studujeme dvou a třístupňové žíhací procesy s aplikaci Tabula rasa. Vývoj precipitace v různých fázích během žíhacích procesů pro různé teploty byly získány různými experimentálními technikami.
Související projekty: