Informace o publikaci
Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods
| Název česky | Mechanické vlastnosti tenkých vrstev, připravených metodami TVA a G-TVA |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2011 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Chemicke Listy |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.chemicke-listy.cz/common/article-vol_105-issue_14-page_s132.html |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | Thermionic Vacuum Arc; Gaseous Thermionic Vacuum Arc; DLC coatings; nanoindentation |
| Popis | Thermionic vakuové Arc (TVA) plazma je velmi perspektivní technologií umožňující růst tenkých vrstev ve vakuu. Použitím této technologie bylo připraveno řada materiálů, a to i např. žáruvzdorné. V tomto příspěvku pro syntézu DLC je popsáno rozšíření metody TVA pomocí reaktivních plynů (G-TVA). Použití metanu,významně rozšiřuje použitelnost techniky TVA pro syntézu tenkých vrstev z pevné látky a plynových prekurzorů.Byly studovány mechanické vlastnosti deponovaných vrstev filmů. Popsané metody umožňují připravit uhlíkové vrstvy s širokou škálou mechanických vlastností od polymerupodobných uhlíkových vrstev až po tvrdých diamantupodobných vrstev. |
| Související projekty: |