Informace o publikaci

Homogeneous and heterogeneous nucleation of oxygen in Si-CZ

Název česky Homogenni a heterogenní nukleace kyslíku v Si-CZ
Autoři

KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan CAHA Ondřej MEDUŇA Mojmír

Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Solid State Phenomena
Fakulta / Pracoviště MU

Středoevropský technologický institut

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Interstitials; Nucleation; Precipitation; Silicon; Vacancies
Popis Prezentujeme numerické simulace nukleační kinetiky vakancí a intersticiálů během RTA a studujeme vliv žíhací teploty na hustotu BMD.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info