Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Thin Films Deposited Using Dual Frequency Discharges

• Název česky: Mechanické vlastnosti ultrananokrystalickýh tenkých vrstev deponovaných pomocí dvoufrekvenčního výboje
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; BLÁHOVÁ Olga; KARÁSKOVÁ Monika; ZAJÍČKOVÁ Lenka; JAŠEK Ondřej; FRANTA Daniel; KLAPETEK Petr; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2011
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: CHEMICKÉ LISTY
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.chemicke-listy.cz/docs/full/2011_14_s98-s101.pdf
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: ultrananocrystalline diamond; plasma enhanced chemical vapor deposition; dual frequency discharge; local mechanical properties
• Popis: Práce popisuje depozici nanostrukturních diamantových vrstev s nízkou povrchovou drsností, vysokou tvrdostí a odolností vůči zlomu. Ta byla prováděna metodou mikrovlného PECVD v reaktoru typu ASTeX. Užitými plyny byly vodík a metan

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie