Homogeneous and heterogeneous nucleation of oxygen in Si-CZ

• Název česky: Homogenni a heterogenní nukleace kyslíku v Si-CZ
• Autoři: KUBĚNA Josef; KUBĚNA Alan; CAHA Ondřej; MEDUŇA Mojmír
• Rok publikování: 2011
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Solid State Phenomena
• Fakulta / Pracoviště MU: Středoevropský technologický institut
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Interstitials; Nucleation; Precipitation; Silicon; Vacancies
• Popis: Prezentujeme numerické simulace nukleační kinetiky vakancí a intersticiálů během RTA a studujeme vliv žíhací teploty na hustotu BMD.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
• Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku
• CEITEC - středoevropský technologický institut