Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

• Authors: SCHMIDTOVÁ Tereza; SOUČEK Pavel; VAŠINA Petr
• Year of publication: 2012
• Type: Conference abstract
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Description: Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of the target.

Related projects

• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev