Project information

Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Investor logo
Project Identification
GA19-00579S
Project Period
1/2019 - 12/2021
Investor / Pogramme / Project type
Czech Science Foundation
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
Charles University Prague

Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.

Publications

Total number of publications: 14


Previous 1 2 Next