Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
- Project Identification
- GA19-00579S
- Project Period
- 1/2019 - 12/2021
- Investor / Pogramme / Project type
-
Czech Science Foundation
- Standard Projects
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
- Responsible person Martin Čada
- Responsible person Milan Tichý
Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.
Publications
Total number of publications: 20
2021
-
Ion temperature measurements in the tokamak scrape-off layer with high temporal resolution
Nuclear Fusion, year: 2021, volume: 61, edition: 3, DOI
-
Microstructure of titanium coatings controlled by pulse sequence in multipulse HiPIMS
Surface and Coatings Technology, year: 2021, volume: 423, edition: October, DOI
-
Single-Shot Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy of Plasma Species within the Spoke
Year: 2021, type: Conference abstract
-
Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS
23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers, year: 2021
-
Spoke behaviour in reactive HiPIMS
Plasma Sources Science and Technology, year: 2021, volume: 30, edition: 5, DOI
-
The single-shot spatial-resolved OES of the spoke in non-reactive HiPIMS
Year: 2021, type: Conference abstract
2020
-
Behaviour of spokes in reactive HiPIMS
Year: 2020, type: Conference abstract
-
Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS
Year: 2020, type: Conference abstract
-
Evolution of ionization fraction of sputtered species in standard, multi-pulse and reactive HiPIMS
Year: 2020, type: Conference abstract
-
Influence of sputtered species ionisation on the hysteresis behaviour of reactive HiPIMS with oxygen admixture
Plasma Sources Science and Technology, year: 2020, volume: 29, edition: 2, DOI