Project information

Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Investor logo
Project Identification
GA19-00579S
Project Period
1/2019 - 12/2021
Investor / Pogramme / Project type
Czech Science Foundation
  • Standard Projects
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
  • Responsible person Martin Čada
Charles University Prague
  • Responsible person Milan Tichý

Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.

Publications

Total number of publications: 14

2020

2019

Previous 1 2 Next