Informace o projektu

Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA19-00579S
Období řešení
1/2019 - 12/2021
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
Univerzita Karlova v Praze

Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.

Publikace

Počet publikací: 14


Předchozí 1 2 Další