Project information
ACDRC-2026-WP2-02
- Project Identification
- ACDRC-2026-WP2-02
- Project Period
- 11/2026 - 10/2027
- Investor / Pogramme / Project type
-
Masaryk University
- Internal projects of the Rectorate
- ACDRC
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
Přístroje pro modernizaci laboratoře polovodičů - čistých prostor na Ústavu fyziky kondenzovaných látek
1) Sytící pec
2) Modul radiofrekvenčního leptání desek k naprašovacímu zařízení MRC-603 3) Optický bezmaskový litograf