Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

• Authors: OBRUSNÍK Adam; BONAVENTURA Zdeněk; POTOCKÝ Štěpán; KROMKA Alexander
• Year of publication: 2012
• Type: Article in Proceedings
• Conference: XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Field: Plasma physics
• Keywords: finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma

Related projects

• Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev