Project information

Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace (ONSEMI)

Investor logo
Project Identification
TA01010078
Project Period
1/2011 - 12/2013
Investor / Pogramme / Project type
Technology Agency of the Czech Republic
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.

Práce na projektu budou vedeny ve dvou navzájem provázaných liniích:
(i)Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI.
(2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur, zejména použití infračervených kamer pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje.

Publications

You are running an old browser version. We recommend updating your browser to its latest version.

More info