Informace o projektu

Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace (ONSEMI)

Logo poskytovatele
Kód projektu
TA01010078
Období řešení
1/2011 - 12/2013
Investor / Programový rámec / typ projektu
Technologická agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.

Práce na projektu budou vedeny ve dvou navzájem provázaných liniích:
(i)Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI.
(2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur, zejména použití infračervených kamer pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje.

Publikace

Počet publikací: 3


Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info