Project information
Termofyzikální charakterizace tenkých vrstev

Projekt se zaměřuje na vývoj metod kvantitativní analýzy termofyzikálních vlastností tenkých vrstev a jejich systémů pomocí metod rastrovací sondové mikroskopie (SPM). To zahrnuje vývoj vhodných referenčních vzorků, vývoj nástrojů pro kombinovaná termální a elektrická měření v SPM a vývoj metodiky pro zajištění metrologické návaznosti, jak na specializovaných, tak na komerčně dostupných mikroskopech.