Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

• Authors: VAŠINA Petr; SCHMIDTOVÁ Tereza; SOUČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Year of publication: 2013
• Type: Conference abstract
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Description: This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition

Related projects

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev