Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

• Autoři: VAŠINA Petr; SCHMIDTOVÁ Tereza; SOUČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2013
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev