Project information

Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace

Investor logo
Project Identification
GA15-00863S
Project Period
1/2015 - 12/2017
Investor / Pogramme / Project type
Czech Science Foundation
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
Charles University Prague

Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.

Publications

Total number of publications: 32


Previous 1 2 3 4 Next