A study of the electron energy distribution function in the cylindrical magnetron discharge in argon and xenon

• Autoři: BEHNKE J.F.; PASOTH E.; CSAMBAL C.; TICHÝ Milan; KUDRNA Pavel; TRUNEC David; BRABLEC Antonín
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Czech. Journal of Phys.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: electron distribution function; magnetron; discharges

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek