Informace o publikaci
Optical characterization of double layers containing epitaxial ZnSe and ZnTe films
| Název česky | Optická charakterizace dvojvrstev obsahující eptaxní ZnSe a ZnTe vrstvy |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Modern Optics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/JMO52_583.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | ellipsometry; spectrophotometry; epitaxial layer |
| Popis | V tomto článkujsou presentovány výsledky optické charakterizace dvojvrstev sestávajících se z ZnTe a ZnSe vrstev připravených molekulární svazkovou epitaxií na podložky z monokrystalického GaAs. Pro optickou charakterizaci byla využita optická metoda založená na víceúhlové spektroskopické elipsometrii a téměř kolmé spektroskopické reflektometrii v podobě mnohavzorkové modifikace v rámci oblasti 230-850 nm. Užitím této metody jsou určeny spektrální závislosti optických konstant horních vrstev ZnTe uvnitř výše zmíněné spetkrální oblasti. Spektrální závislosti optických konstant spodních vrstev ZnSe byly určeny v rámci spektrální oblasti 450-850 nm. Drsnost rozhraní je respektována. RMS hodnoty výšek nerovností rozhraní a tloušťky a optické konstanty povrchových vrstev jsou určeny pomocí kombinované metody rovněž. Horní rozhraní dvojvrstev jsou navíc analyzovány pomocí mikroskopie atomové síly kvůli ověření hodnot RMS těchto rozhraní obdržených pomocí optické metody. Spektrální závislosti optických konstant horních ZnTe vrstev a spodních ZnSe vrstev jsou srovnány se spektrálními závislostmi jednoduchých ZnTe a ZnSe vrstev presentovaných v literatuře. |
| Související projekty: |