Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Základní údaje

Originální název Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
Název česky Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti
Autoři
Daniel Franta
Ivan Ohlídal
Jan Mistík
Tomuo Yamaguchi
Gu Jin Hu
Ning Dai

Další údaje

Citace FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jan MISTÍK, Tomuo YAMAGUCHI, Gu Jin HU a Ning DAI. Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions. Applied Surface Science, USA: ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, roč. 244, 1-4, s. 338-342. ISSN 0169-4332.
Originální jazyk angličtina
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
WWW
Druh Článek v odborném periodiku
Klíčová slova PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry

Anotace

V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info