Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti

Základní údaje

Originální název Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
Autoři
Daniel Franta
Ivan Ohlídal
Jan Mistík
Tomuo Yamaguchi
Gu Jin Hu
Ning Dai

Další údaje

Citace FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jan MISTÍK, Tomuo YAMAGUCHI, Gu Jin HU a Ning DAI. Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions. Applied Surface Science, USA: ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, roč. 244, 1-4, s. 338-342. ISSN 0169-4332.
Originální název angličtina
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
WWW
Druh Článek v odborném periodiku
Klíčová slova PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry

Anotace

V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info