Langmuir Probe and Optical Emission Diagnostics of DC Cylindrical Magnetron

• Název česky: Diagnostika cylindrického DC magnetronu Langmuirovou sondou a optickou emisní spektroskopií
• Autoři: KOLPAKOVÁ Anna; DOSOUDILOVÁ Lenka; NAVRÁTIL Zdeněk; KUDRNA Pavel; TICHÝ Milan
• Rok publikování: 2012
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: V tomto příspěvku studujeme stejnosměrný výboj v magnetronu. Pracovním plynem byl neon, typický tlak 2-10 Pa, výbojový proud byl 100-250 mA. Měření v slabě magnetizovaném plazmatu v neonu bylo prováděno radiálně pohyblivou Langmuirovou sondou. Ze sondových měření byly stanoveny radiální závislosti parametrů plazmatu (plovoucí a plazmový potenciál, koncentrace elektronů). Optická emisní spektroskopie doplněná o metodu větvicích poměrů posloužila ke stanovení koncentrace atomů neonu v metastabilních stavech. Určená koncentrace atomů neonu ve stavu 1s5 se pohybovala okolo 2.2x10^10 cm-3.

Související projekty

• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy