Informace o publikaci

Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon

Autoři

KLENOVSKÝ Petr ZŮDA Jaroslav KLAPETEK Petr HUMLÍČEK Josef

Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.08.135
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Silicon; Surface layers; Ellipsometry; 1-kg mass standard
Popis Studovali jsme povrchové vrstvy na monokrystalické kouli z n-typu zonálního křemíku ( 2400-2990 Ohm.cm) s průměrem 93.6004 mm. Elipsometrická spektra ve viditelné a ultrafialové oblasti dokumentují přítomnost tenkých vrstev amorfního Si a oxidu křemíku, Připravili jsme rovněž sérii plochých vzorků Si, leštěných pomocí zrn v rozsahu 1-6 mikronů; tyto vzorky byly zkoumány elipsometrickou technikou ve střední infračervené oblasti, včetně oboru poláírních vibrací vazeb Si-O. Modely povrchu koule byly testovány pomocí měření AFM.
Související projekty: