Characterization of optical thin films exhibiting defects

• Název česky: Charakterizace optických tenkých vrstev vykazující defekty
• Autoři: FRANTA Daniel; OHLÍDAL Ivan
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Advances in Optical Thin Films II
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• www: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE5963_59632H.html
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: ellipsometry; spectrophotometry; thin films; roughness; refractive index profile
• Popis: V tomto článku je prsentován matematický formalismus umožňující zahrnout defekty tenkých vrstev do rovnic vyjadřujících jejich optické konstanty. Pozornost je věnována defektům sestávajícím se z drsnosti rozhraní a nehomogenity odpovídající profilu indexu lomu. Tento matematický formalismus je založen na 2X2 maticové algebře. Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro popis drsnosti rozhraní. Profil indexu lomu je zahrnut do maticového formalismu pomocí speciální metody založené na kombinaci Drudeho a Wentzel-Kramers-Brillouin -Jeffries (WKBJ) aproximaci. Matematický formalismus je aplikován pro optickou charakterizaci vrstev TiO2 a As-S chalkogenidů. Použitím tohoto formalismu jsou zpracována experimentální data odpovídající elipsometrickým veličinám, odrazivosti měřené ze strany vnějšího prostředí, odrazivosti měřené ze strany podložky, a propustnosti. Opravy systematických chyb spojených s přístavkem pro měření odrazivosti v použitém spektrofotometru jsou provedeny prostřednictvím speciální procedury.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Fotonická skla a amorfní vrstvy