Informace o publikaci
Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging
| Název česky | Charakterizace rozorientace krystalitů v polovodičových deskách a ELO vzorcích metodou zobrazení rocking křivek |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Applied Surface Science |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#MikulikLubbertPernotHB-ASS-2006 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | X-ray diffraction; X-ray topography; Microdiffraction; Crystal growth; Microstructure; GaAs; GaN |
| Popis | Zobrazení rocking křivek (rocking curve imaging) je založeno na měření série digitálních topogramů v Braggovově uspořádání na odraz s paralelním synchrotronovým svazkem. Metoda umožňuj určit lokální rozorientování krystalové mříže na velké ploše vzorku s velkým úhlovým a laterálním rozlišením. V tomto článk aplikujeme metodu na studium lokálního náklonu mřížky ve dvou různých polovodičových vzorcích s rozorientacemi až do 0.5 deg a s laterálním rozlišením od 30 um do 1 um. Studovali jsme mikrokrystaly ve vzorcích, kterými byly GaAs desky a ELO vzorky GaN. |
| Související projekty: |