Interdiffusion in SiGe alloys studied by x-rays

• Název česky: Interdifúze v SiGe slitinách studovaná pomocí rtg
• Autoři: MEDUŇA Mojmír; NOVÁK Jiří; BAUER Günther; HOLÝ Václav; FALUB Claudiu; TSUJINO Soichiro; GRÜTZMACHER Detlev
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: x-ray reflectivity; interdiffusion; SiGe
• Popis: Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 780-830 C pomocí rtg difrakce. Z fitování reflexe a difrakce jsme obdrželi difúzní koeficienty a aktivační energie pro obsah Ge 50%.

Související projekty

• Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur