Deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS+O2 gas mixture

• Autoři: JANČA Jan; KRYŠTOF P.; NAVRÁTIL Karel; BOCHNÍČEK Zdeněk; NĚMEC Petr
• Rok publikování: 1995
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Acta Physica Univesitatis Comenianae
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek