Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition

• Název česky: Modifikace tenkých DLC vrstev pomocí hexametyldisiloxanu
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; ZAJÍČKOVÁ Lenka; NAVRÁTIL Vladislav; PRYČKOVÁ Jana; SUBEDI Deepak Prasad; JANČA Jan
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Plasma Physics; Thin Solid Films
• Popis: V práci byly studovány vlastnosti diamantupodobných vrstev vv závislosti na množství hexametyldisiloxanu. zejména byly studovány mechanické vlastnosti vrstev (mikrotvrdost).

Související projekty

• Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek