Informace o projektu

Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Kód projektu
ME 367
Období řešení
7/2000 - 6/2002
Investor / Programový rámec / typ projektu
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta

Ve spolupráci s Institut fur anorganische materialien TU v Mnichově a SHM Šumperk bude prováděn vývoj a přenesení vyvinuté technologie do výrobního procesu pro nové supertvrdé nanokrystalické materiály typu TiN/AlN/SiN. Katedra fyzikální elektroniky se zaměří zejména na vývoj monitorování plazmochemických procesů probíhajících při depozici supertvdých vrstev. Bude využito zejména metod optické spektroskopie a metody sondové. Výsledkem spektrálních a sondových měření budou jednoduché detektory umož- ňující monitorování plazmochemického procesu tak, aby mechanické vlastnosti nanesených supertvrdých vrstev byly optimální. Na KFE PřF MU bude sestavena mikrovlnná aparatura typu ASTEX pro přípravu vrstev diamantového typu a vrstev typu BN. Bude rovněž vyvinuto další mikrovlnné depoziční zařízení umožňující generaci plazmatu s homogenním radiálním profilem. Bude vyvinut vysokofrekvenční generátor s induktivně buzeným plazmatem pro přípravu nanokompositních materiálů typu CN/SiO a materiálů typu CN/SiN.

Publikace

Počet publikací: 24


Předchozí 1 2 3 Další

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info