Electrical Properties of SiOxHyCz Coatings Prepared by PECVD

• Název česky: Elektrické vlastnosti vrstev SiOxHyCz připravených PECVD
• Autoři: FRANCLOVÁ Jana; KUČEROVÁ Zuzana; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 15th Symposium on Aplications of Plasma Processes
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: thin films; electrical properties
• Popis: U MIM struktur můžeme pozorovat dva druhy elektrické vodivosti, které můžou být buď limitované elektrodami (Schottyho amise, tunelování) a nebo procesy zapřičiněné objemovými procesy v dielektriku (Poole-Frenkelova vodivost). Vrsvy připravené PECVD vykazují Poole-Frenkelovu vodivost při nižších napětích a při vyšších vykazují tunelování.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek