Informace o publikaci
Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings
| Název česky | Spektroskopická elipsometrie sinusoidálních reliéfních mřížek |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Applied Surface Science |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS244_221.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Optical metrology; Spekroscopic ellipsometry; Sinusoidal gratings; Wood anomaly; RCWA; Incoherent light |
| Popis | Spektroskopická elipsometrie (SE) je použita pro studium mřížek se sinusovým reliefem, které byly připraveny na povrchu transparentního polymeru. Opticky tlustá polymerní vrstva je umístěna na skleněnou podložku a její index lomu je opticky přizpůsoben s indexem lomu skla. Rigorosní analýza vázaných vln implementovaná jako airyho podobná řada vnitřních odrazů je aplikována pro výpočet optické odezvy reliefní mřížky. Celková optická odezva vzorku je určena s využitím zpětných odrazů na rozhraní mezi polymerem a sklem. Parametry popisující rozměry a skutečný tvar sinusového reliefu stejně tak jako kvalitu optického přizpůsobení mezi polymerem a sklem jsou určeny s využitím spektroskopické elipsometrie a mikroskopie atomové síly jako komplementární techniky. |